正帆科技技術電子材料研發團隊通過深入研究化學反應和分離純化機理,并采用工程化技術對實驗裝置進行放大,掌握了電子材料合成,然后經過催化吸附、高效精餾、膜分離等純化手段有效去除電子材料中有害雜質的核心技術。通過氣體鋼瓶內壁處理技術,確保高純氣體在儲存和運輸過程中品質穩定,滿足半導體制造工業要求的99.9999%以上純度。
運用合成與分離提純技術,正帆科技自產的砷烷、磷烷產品實現純度≥99.9999%,關鍵雜質含量優于《GBT 26250-2010中華人民共和國國家標準電子工業用氣體-砷化氫》、《GBT 14851-2009中華人民共和國國家標準電子工業用氣體-磷化氫》中的相關規定。
正帆科技技術團隊依據材料科學和表面處理工藝原理,通過對系統設計、材料選型、設備制造、現場潔凈環境、施工工法、質量檢驗、設備測試和調試等關鍵環節的控制,避免配送系統對工藝介質帶來二次污染,保障高純氣體和化學品在配送過程中的純度。
正帆科技構建了一套認證及檢驗流程,建立了一套完整的核心材料數據庫,并配備了掃描電鏡、金屬成分光譜檢測儀、粗糙度檢測儀等檢測工具,能夠獨立對原材料進行材質分析、純度測試、部件性能測試等,以確保品質達到系統設計要求。
系統微污染控制技術的實現是在服務于客戶目標的前提下,對具體流程和功能組件不斷優化和并對過程進行完善。
泛半導體產業對于工藝介質的利用率較低,有些制程利用率低于5%,甚至完全不參與化學反應。而多數工藝介質不能直接排入大氣或者市政污水系統,必須進行有效的尾氣、廢液和廢水處理。正帆科技開發了廢棄物資源化技術,采用各種工程技術方法和管理措施,從廢棄物中回收有用的物質和能源。通過回收廢物內高價值產品,經二次純化并循環使用,可以降低原材料消耗、保障生產安全、同時避免環境污染。
正帆科技已自主開發的氦氣再生與循環利用系統,通過研究氦氣及相關組分的物化性質,組合使用過濾、吸附、膜分離等提純方法,在回收率、純度等方面達到了客戶滿意的效果。該項技術不僅幫助客戶減少了原材料采購成本,且一定程度上降低客戶對國外供應商的依賴。
正帆科技采用流程模擬仿真技術,通過工程設計和軟件編程,對輸送的高純電子氣體和化學品的溫度、壓力、流量、濃度、傳熱等參數進行精確動態計算,模擬現場實際運行參數,指導設備管道設計、部件選型、節能改進方向等。
結合多年工藝應用數據庫和項目經驗積累,并通過實踐修正仿真計算的過程,提升了仿真的準確性,使其能夠應對復雜的流體系統設計。正帆科技將流體學科與工程實踐相結合,對系統中的關鍵部件和設備進行設計優化,從而支持氣體、化學品的穩定供應,匹配客戶的具體需求。
針對特種氣體和化學品中的有害雜質特性,正帆科技研發團隊開發了準確可靠的痕量雜質分析方法。利用獨創的色譜柱填料配方與裝柱工藝,設計相對應的進樣和吹掃程序,并配套高精度檢測器,對電子氣體的微量水分、氧分、顆粒、碳氫化合物等有害雜質進行分析檢測,為高純電子材料的生產提供保障。
正帆科技已經建立了一套完整的分析與檢測方法,并將該分析檢測技術應用于高純特種氣體業務中。合肥正帆建立的分析與檢測實驗室,從高純取樣系統到精密分析儀器的每一個環節均建立了標準的操作程序,確保分析結果準確可靠,為正帆科技生產高純特種氣體提供保障。
正帆科技依據工藝安全14大要素要求,遵循本質安全設計原則,評估氣體化學品系統危險性和可操作性。通過工藝危害分析,識別評估可能存在的風險,并將技術要點反映在設計方案和操作規程中,為客戶設計并建造氣體、化學品監控的軟硬件平臺,幫助客戶實現物料供應過程的自動化安全控制與管理。
在設備層,正帆科技通過積累的各行業客戶供應系統中的流程邏輯和經驗參數,在PLC程序中嵌入了制程安全互鎖,避免人為誤操作或工藝流程邏輯差錯對系統壽命以及工作人員的生命安全造成危害;在管理層,通過采集工藝設備、偵測器等底層數據,實現系統運行的數據記錄和中央監控,為客戶提供狀態查詢、安全預警、維護提示、信息追溯等具體功能,提高生命安全和制程安全管理水平。