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    設備與系統集成

    設備與系統集成

    高純氣體輸送設備

    超高純氣體輸送設備是集成電路、平板顯示、發光二極管以及光伏、光纖等泛半導體行業中關鍵的廠務設備之一。

    正帆科技在高純氣體供應系統領域深耕多年,在泛半導體產業的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關鍵制程為客戶提供完整的氣體供應設備設計與制造的解決方案。正帆科技制造的氣體設備均經過SEMI S2認證。

    潔凈度

    通過使用高潔凈度的部件,在可控的環境中以超高純施工工藝加工操作,以確保系統對氣體的二次污染被控制在PPB級別

    安全性

    以必要的安全裝備與控制系統來預防及緊急應對氣體意外泄漏帶來的危險

    穩定性

    通過優化的系統設計和嚴格的制造過程控制,確保設備能夠持續不間斷地以穩定的壓力和流量輸送氣體

    上海正帆科技股份有限公司

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