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    設備與系統集成

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    真空裝置

    正帆科技為泛半導體行業及科研單位設計和制造各類高真空及超高真空裝置。結合正帆多年的潔凈設備制造經驗和豐富的客制化自控系統設計經驗，能夠為客戶提供各類自動化控制的真空裝置，包括常規或高潔凈無顆粒真空裝置，慢充慢抽裝置等。

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